1900年由Moissan和Lebeau以硫在氟氣中燃燒而始得六氟化硫， 1930 年Schumb和Gamble也提出了六氟化硫的制造方法， 英國于1941年提出了在變壓器上使用六氟化硫， 1942 年蘇聯(lián)也在電纜和蓄電器上使用六氟化硫， 美國則在1948年開始了六氟化硫的工業(yè)化生產(chǎn)， 現(xiàn)在美、英、法、德、意、俄、日等國均可生產(chǎn)六氟化硫， 尤其是日本關(guān)東電化公司和旭硝子公司于20世紀(jì)70年代就已具有了1000 t/ a六氟化硫的生產(chǎn)能力。

　　1、六氟化硫的理化性質(zhì)
　　六氟化硫在常溫常壓下是一種無色、無臭、無毒、不燃、無腐蝕性的氣體， 氣體密度61139 g/L,其化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)， 500～600 ℃不分解， 和酸、堿、鹽、氨、水等不反應(yīng)，在電弧作用下(幾千度)分解為S和F的原子氣， 但電弧一旦解除， 便在0- 5 ～10- 6 s內(nèi)復(fù)合成SF6。六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能， 其耐電強(qiáng)度為同一壓力下氮氣的215 倍， 擊穿電壓是空氣的215倍， 滅弧能力是空氣的100倍， 是一種優(yōu)于空氣和油的新一代超高絕緣介質(zhì)材料。
　　六氟化硫化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。微溶于水、醇及醚，可溶于氫氧化鉀。不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學(xué)的反應(yīng)。300℃以下干燥環(huán)境中與銅、銀、鐵、鋁不反應(yīng)。500℃以下對石英不起作用。250℃時與金屬鈉反應(yīng)，-64℃時在液氨中反應(yīng)。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時，在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下，能促使其緩慢分解。
　　2、六氟化硫的工業(yè)制備工藝方法及對比
　　工業(yè)上六氟化硫通常是由電解產(chǎn)生的氟在中高溫下與硫反應(yīng)來制備的， 除六氟化硫外， 還生成少量的四氟化硫( SF4 ) 等副產(chǎn)物。氟硫直接合成六氟化硫的方法可以分為氟氣與固體硫磺、與熔融硫磺、與硫磺蒸氣三種方式： 氟氣與固體硫磺反應(yīng)，由于氟硫反應(yīng)是很激烈的放熱反應(yīng)， 其反應(yīng)溫度不易控制， 導(dǎo)致副產(chǎn)物增加而加重后處理負(fù)擔(dān)。另外對密封的反應(yīng)器來說， 向其內(nèi)連續(xù)地加入固體硫磺也很困難， 故該方法不適用于工業(yè)化生產(chǎn)。氟氣與硫磺蒸氣反應(yīng)， 是將硫磺加熱到445 ℃ (沸點)以上， 使硫變成蒸氣送入反應(yīng)器與氟反應(yīng)， 同樣也存在著反應(yīng)溫度很難控制的缺陷， 其反應(yīng)溫度可達(dá)600 ℃以上， 必須采用特殊的反應(yīng)器材質(zhì)， 這種方法也不適用于工業(yè)化生產(chǎn)。氟氣與熔融硫磺反應(yīng)， 是將反應(yīng)器中的硫磺保持在85～105 ℃的熔融狀態(tài)下與通入的氟氣反應(yīng)的。此法反應(yīng)溫度較易控。